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应变式压力变送器所采用的电阻应变式压力传感器有几种类型?
发布时间:  2020/7/18 13:36:16

应变式压力变送器的核心元件是电阻应变式压力传感器,电阻应变式压力传感器主要分为以下几种:
一、应变式压力变送器的介绍
    应变式压力变送器可分为电阻应变式压力变送器、半导体应变式压力变送器、压阻式压力变送器、电感式压力变送器、电容式压力变送器、谐振式压力变送器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力变送器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工   、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。

二、电阻应变式压力传感器的分类
2.1、金属应变式压力传感器
    金属应变式压力传感器采用光刻、腐蚀工艺,在粘贴于绝缘基底的薄盒金属上制成箔式电阻膜片。由于与基底的接触面积较大。所以在受拉伸时不易脱胶。散热条件好,可通过较大电流。变形较小、一致性好,易于大批量生产。金属箔式应变式压力传感器广泛用应变式压力变送器制造。
    金属应变式压力传感器主要分为金属丝式、箔式、薄膜式三种

2.2、半导体应变式压力传感器
    半导体应变式压力传感器主要采用锗、硅半导体材料。利用光刻、腐蚀或压膜工艺,半导体应变式压力传感器在基底制成应变敏感元件,然后用覆盖层加以保护。N型硅和P型锗两种半导体在受拉伸时,阻值变化互异,可构成取臂半娇,即可产生温度自补效应又可降低非线性影响。半导体应变式压力传感器制作简单、价格便宜,日前仍广泛用于低测量精度应力、应变测量场合。
    半导体应变式压力传感器的优点是应变系数较大.分辨率高。但由于半导体材料性质决定了它与应变之间的非线性,所以温漂大、一致性也差。在使用时应增加温度朴偿、零点漂移抑制以厦其他非线性补偿措施。
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